汕頭潔凈室檢測議生產廠
發布時間：
2023-03-28 19:18
汕頭潔凈室檢測議生產廠
測試標準，半導體行業的衣服ESD的要求一般要求小于100V。有些行業有更嚴格的標準，如晶圓、磁頭行業，摩擦電壓一般小于20V。隨著半導體生產工藝的不斷發展，更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前，制造工藝已經進入亞納米時代，對生產設備的精度要求越來越嚴格，因此，除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外，其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制，包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點，其控制的效果直接影響著生產的優良率。
則單純靠加熱/冷卻過程是不能實現的。冷卻去濕過程是濕空氣經冷卻達到飽和后繼續制冷的過程,濕空氣經過冷卻盤管結露析出水滴從而降低了對濕度,起到去濕的作用。因而我們可以將空氣處理過程分為加熱、加濕、降溫及降溫去濕等四個過程。圖1中,橫坐標為含濕量，即每千克空氣所含有的水蒸量;縱坐標為攝氏溫度。根據目標狀態，對濕度線和目標溫度線可以劃分為四個控制區: Zone 1，ZoneZone 3，Zone 4。
無塵室,CLEAN-ROOM.就是一個相對密閉的空間,并控制其中的潔凈度(一個重要指標就是單位體積空氣中的塵埃粒子數),當然有些時候對此環境中的溫濕度,壓差,照度,噪音等參數也是要控制的.所以,更科學完整的叫法應該叫"受控環境controled environment".
目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃，濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究，引入模糊控制，以提高溫濕度控制的實際效果。溫濕度控制系統實現基本上， 現在潔凈室溫濕度要求為22±2℃，45±5%RH，當然根據生產工藝的需求，對溫濕度的要求也不盡相同。新風空調箱的溫濕度控制新風空調箱基本結構新風空調箱基本結構如圖3 所示，其處理流程如下:空氣過濾———包括初效、中效、三部分;溫度處理———包括預熱盤管、一次表冷盤管、再熱盤管三部分;