防城港潔凈車間裝修生產廠
發布時間:
2023-03-26 20:03
防城港潔凈車間裝修生產廠
潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
開度增大以抵消新風帶來的熱負荷;如果進入潔凈室的新風的溫度過低,將使得在DCC開度為零時達到環境溫度的要求。根據統計數據,空調系統的能耗占整個半導體廠的能耗的30%-35%,因此對空調設備進行優化控制,選擇合理溫濕度設定值,對提高整個潔凈室溫濕度控制的穩定性及具有重要的意義。隨著半導體生產工藝的不斷發展,更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前,制造工藝已經進入亞納米時代,對生產設備的精度要求越來越嚴格,因此,除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外,其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制,包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點,其控制的效果直接影響著生產的優良率。
出口新風濕度進行調節,將潔凈室相對濕度測量值與相對濕度設定值進行比較,由此計算出所需要MAU出口新風相對濕度,其計算過程與溫度設定值的計算過程類似,然后配合MAU 出口新風溫度設定值,計算出MAU 的出口露點溫度設定值, 由此來控制MAU 出口的濕度。實際應用中,通過在潔凈室溫濕度控制系統中引入模糊控制環節和分程控制環節,發揮模糊控制魯棒性強、動態響應好、上升時間快、超調小的特點,
0.2%新潔爾滅溶液:量取3%新潔爾滅溶液6.7ml,加水至100ml即得。 1%來蘇爾溶液:量取3%來蘇爾500ml,加水至1500ml,即得。如用量大時,按上述配制比例進行配制。單月用75%乙醇溶液,雙月用0.2%新潔爾滅溶液,二者交替使用。十萬級潔凈區使用的劑用純化水配制。飲用水(自來水)生產指令:生產部根據生產計劃和作業安排下達生產指令單。生產指令單內容包括:產品名稱、生產車間、規格、批量、批號及原輔料名稱、物料編號、實際用量、半成品批號、計劃投產日期。