東營注塑凈化車間裝修生產廠家
發布時間:
2023-03-24 18:02
東營注塑凈化車間裝修生產廠家
開度增大以抵消新風帶來的熱負荷;如果進入潔凈室的新風的溫度過低,將使得在DCC開度為零時達到環境溫度的要求。根據統計數據,空調系統的能耗占整個半導體廠的能耗的30%-35%,因此對空調設備進行優化控制,選擇合理溫濕度設定值,對提高整個潔凈室溫濕度控制的穩定性及具有重要的意義。隨著半導體生產工藝的不斷發展,更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前,制造工藝已經進入亞納米時代,對生產設備的精度要求越來越嚴格,因此,除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外,其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制,包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點,其控制的效果直接影響著生產的優良率。
為不干擾室內的潔凈氣流型式,在作業區上流側不應放置物品,回風口附近不要堆放物;送風孔板下不應堵塞和堆放物品,生產操作應在潔凈工作臺或氣流的上游進行。不允許將與生產無關的和容易產塵的物品帶入潔凈室內。嚴禁在無塵凈化車間內吸煙、飲食和進行非生產性活動。進入無塵凈化車間前,個人物品須放入指定的柜子,去掉化妝和首飾,換上指定的潔凈服、鞋。戴帽時,應將頭發遮住,鞋套應將褲腳下擺緊緊裹在鞋套。
無塵室,CLEAN-ROOM.就是一個相對密閉的空間,并控制其中的潔凈度(一個重要指標就是單位體積空氣中的塵埃粒子數),當然有些時候對此環境中的溫濕度,壓差,照度,噪音等參數也是要控制的.所以,更科學完整的叫法應該叫"受控環境controled environment".
條“if-then”規則,根據這些規則,得出如表1 所示的模糊控制規則表:模糊推理將模糊規則庫中的模糊“if-then”規則轉換成某種映射,即將輸入空間上的模糊集合映射到輸出空間上的模糊集合。根據這些規則進行模糊推理得到一個模糊集,即模糊控制量U, 再通過去模糊化環節,將其轉化為清晰的數字控制量,達到調節MAU 溫度設定的目的。潔凈室相對濕度控制潔凈室相對濕度的控制則由MAU