林州注塑凈化車間裝修生產廠
發布時間：
2023-03-23 18:22
林州注塑凈化車間裝修生產廠
進入無塵車間必須了解的事，1.進入無塵車間應穿干凈鞋具，不得帶油漬、污泥入內；2.室內不得吸煙、飲食和飲水；3.焊接、切割、鑿洞等有塵作業必須加以控制，防止碎屑大范圍擴散，每天工作結束時應將垃圾搬出室外倒入規定處；4.施工材料堆放整齊；5.室內嚴禁大小便；6.有違犯以上規定者，應立即取消在無塵車間工作的資格。
目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃，濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究，引入模糊控制，以提高溫濕度控制的實際效果。對空氣單純地加熱或制冷(未達到飽和狀態)過程，是含濕量保持不變的過程，即對濕度保持不變的過程。濕空氣經過盤管加熱，溫度升高而相對濕度下降;相反,對冷卻過程，溫度下降而相對濕度相應升高，因此我們可以得出，溫度和相對濕度是兩個不同方向的控制量，要使溫濕度同時向相同的趨勢變化，
由于每種工藝制程設備的發熱量大不相同，導致潔凈室內的機臺發熱量分布不均勻。例如爐管機臺的發熱量相較于其他設備大得多(基本在3-5倍之間)，因此在潔凈室內用干盤管DCC帶走這些熱量。通常要求同一制程的氣流經過同一組DCC，在建筑已經確定的情況下，制程的分布要與回風道垂直。如果條件允許，好是將不同制程的區域隔開，這樣既可避免金屬粒子污染，又能提高溫濕度控制的穩定性。通常情況下， 潔凈室的溫濕度控制在22±2℃，45±5%RH，MAU 的送風溫度基本控制在21℃-21.5℃，在與循環風混合后，FFU
條“if-then”規則，根據這些規則，得出如表1 所示的模糊控制規則表:模糊推理將模糊規則庫中的模糊“if-then”規則轉換成某種映射，即將輸入空間上的模糊集合映射到輸出空間上的模糊集合。根據這些規則進行模糊推理得到一個模糊集,即模糊控制量U, 再通過去模糊化環節,將其轉化為清晰的數字控制量,達到調節MAU 溫度設定的目的。潔凈室相對濕度控制潔凈室相對濕度的控制則由MAU