商丘凈化工程設計生產廠
發布時間：
2023-03-22 18:43
商丘凈化工程設計生產廠
在半導體無塵車間的建造過程中，除了廠房的主體結構施工外，還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統及其管線的安裝、高純氣體系統(含特種氣體供應等)及其管線安裝、真空系統及其管線的安裝、化學品供應系統及其管線的安裝、各種排風和排氣系統及其處理設備的安裝、消防報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。還有氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣(98%)，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。這些都是設計要注意的地方。
則單純靠加熱/冷卻過程是不能實現的。冷卻去濕過程是濕空氣經冷卻達到飽和后繼續制冷的過程,濕空氣經過冷卻盤管結露析出水滴從而降低了對濕度,起到去濕的作用。因而我們可以將空氣處理過程分為加熱、加濕、降溫及降溫去濕等四個過程。圖1中,橫坐標為含濕量，即每千克空氣所含有的水蒸量;縱坐標為攝氏溫度。根據目標狀態，對濕度線和目標溫度線可以劃分為四個控制區: Zone 1，ZoneZone 3，Zone 4。
潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的空間。潔凈室是特殊的房間，該房間內的空氣懸浮粒子濃度、空氣溫度、濕度、壓力等參數均需要控制。空氣懸浮粒子是有特定含義的，它是尺寸范圍在0.1～5μm的固體和液體粒子，它用于空氣潔凈度的分級?？諝鈶腋×Ｗ?，有的有生命（如細菌、病毒等），有的無生命（如塵粒）。有生命的微粒其實就是細菌等微生物附著在無生命的塵粒上形成的。