寧夏潔凈車間設備生產廠
發布時間:
2023-03-21 19:36
寧夏潔凈車間設備生產廠
潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
潔凈室溫濕度處理基本流程及常見問題潔凈室溫濕度處理基本流程前攝像頭:5.0MP 后攝像頭:13.0MP AF半導體潔凈室廠房通常采用新風空調箱(Meup Air Unit,MAU)+風機過濾單元(FanFilter Unit,FFU)+干冷盤管(Dry Cooling Coil,DCC)的設計,即新風空調箱MAU將具有一定潔凈等級和溫濕度的新風送到潔凈室的回風通道中,與循環回風進行混合后進入潔凈室吊頂上方,通過風機過濾單元FFU
為不干擾室內的潔凈氣流型式,在作業區上流側不應放置物品,回風口附近不要堆放物;送風孔板下不應堵塞和堆放物品,生產操作應在潔凈工作臺或氣流的上游進行。不允許將與生產無關的和容易產塵的物品帶入潔凈室內。嚴禁在無塵凈化車間內吸煙、飲食和進行非生產性活動。進入無塵凈化車間前,個人物品須放入指定的柜子,去掉化妝和首飾,換上指定的潔凈服、鞋。戴帽時,應將頭發遮住,鞋套應將褲腳下擺緊緊裹在鞋套。
出口新風濕度進行調節,將潔凈室相對濕度測量值與相對濕度設定值進行比較,由此計算出所需要MAU出口新風相對濕度,其計算過程與溫度設定值的計算過程類似,然后配合MAU 出口新風溫度設定值,計算出MAU 的出口露點溫度設定值, 由此來控制MAU 出口的濕度。實際應用中,通過在潔凈室溫濕度控制系統中引入模糊控制環節和分程控制環節,發揮模糊控制魯棒性強、動態響應好、上升時間快、超調小的特點,