來賓注塑凈化車間裝修生產廠
發布時間:
2023-03-21 19:23
來賓注塑凈化車間裝修生產廠
潔凈室溫濕度處理基本流程及常見問題潔凈室溫濕度處理基本流程前攝像頭:5.0MP 后攝像頭:13.0MP AF半導體潔凈室廠房通常采用新風空調箱(Meup Air Unit,MAU)+風機過濾單元(FanFilter Unit,FFU)+干冷盤管(Dry Cooling Coil,DCC)的設計,即新風空調箱MAU將具有一定潔凈等級和溫濕度的新風送到潔凈室的回風通道中,與循環回風進行混合后進入潔凈室吊頂上方,通過風機過濾單元FFU
在半導體無塵車間的建造過程中,除了廠房的主體結構施工外,還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統及其管線的安裝、高純氣體系統(含特種氣體供應等)及其管線安裝、真空系統及其管線的安裝、化學品供應系統及其管線的安裝、各種排風和排氣系統及其處理設備的安裝、消防報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。還有氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣(98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。這些都是設計要注意的地方。
手術中人員發菌量 878個/ min.人所以,可知潔凈室內無菌衣人員的靜態發菌量一般不過300個/ min.人,動態發菌量一般不過1000個/ min/人,以此作為計算依據是可行的。潔凈室中無塵車間地板、墻面、天花板材料選購的知識對于半導體工業而言,無塵車間是一必要且不可缺之設備,其對空氣中的粒子要求之嚴格,故對天花板、墻壁、地板的要求亦嚴格。地板是人員、臺車及重量的運輸,而清除地板所用者大部分為消品及化學品,當我們看見地板磨損時,也就是使用期已太久,快破裂了,不僅會使得清靜度的降級,也會因地板的磨損而發生空氣中粒子的增加。
潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的空間。潔凈室是特殊的房間,該房間內的空氣懸浮粒子濃度、空氣溫度、濕度、壓力等參數均需要控制??諝鈶腋×W邮怯刑囟êx的,它是尺寸范圍在0.1~5μm的固體和液體粒子,它用于空氣潔凈度的分級??諝鈶腋×W?,有的有生命(如細菌、病毒等),有的無生命(如塵粒)。有生命的微粒其實就是細菌等微生物附著在無生命的塵粒上形成的。