貴州潔凈室檢測議生產廠
發布時間:
2023-03-18 18:22
貴州潔凈室檢測議生產廠
按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
條“if-then”規則,根據這些規則,得出如表1 所示的模糊控制規則表:模糊推理將模糊規則庫中的模糊“if-then”規則轉換成某種映射,即將輸入空間上的模糊集合映射到輸出空間上的模糊集合。根據這些規則進行模糊推理得到一個模糊集,即模糊控制量U, 再通過去模糊化環節,將其轉化為清晰的數字控制量,達到調節MAU 溫度設定的目的。潔凈室相對濕度控制潔凈室相對濕度的控制則由MAU
設計及參數要點:因其對生產環境的恒溫恒濕溫控制要求很高(溫度控制在22℃±1℃,相對濕度控制在43%±3%);生產大環境的空氣潔凈等級為千級(ISO 6級);光刻等區域的空氣凈化等級十級(ISO 4級);規范要求空氣凈化等級(ISO1-4級)的凈化室采用垂直層流:上技術夾層(送風靜壓箱)中的空氣通過FFU(風機過濾機組)輸送至潔凈生產層,氣流通過高架地板及華夫板孔洞送至潔凈下技術夾層,再經過回風夾道中的DCC(干冷盤管)回到上技術夾層,循環往復。
潔凈室溫濕度處理基本流程及常見問題潔凈室溫濕度處理基本流程前攝像頭:5.0MP 后攝像頭:13.0MP AF半導體潔凈室廠房通常采用新風空調箱(Meup Air Unit,MAU)+風機過濾單元(FanFilter Unit,FFU)+干冷盤管(Dry Cooling Coil,DCC)的設計,即新風空調箱MAU將具有一定潔凈等級和溫濕度的新風送到潔凈室的回風通道中,與循環回風進行混合后進入潔凈室吊頂上方,通過風機過濾單元FFU