三亞潔凈車間裝修生產廠
發布時間:
2023-03-17 20:14
三亞潔凈車間裝修生產廠
萬級無塵車間:萬級無塵車間常用于液壓設備或氣壓設備的組裝,在某些情況下也用于食品飲料行業。此外,萬級無塵車間也常用于醫療行業。
千級無塵車間:本級無塵車間主要用于生產優質光學產品、測試、裝配飛機蛇螺儀、裝配優質微軸承等。
由于每種工藝制程設備的發熱量大不相同,導致潔凈室內的機臺發熱量分布不均勻。例如爐管機臺的發熱量相較于其他設備大得多(基本在3-5倍之間),因此在潔凈室內用干盤管DCC帶走這些熱量。通常要求同一制程的氣流經過同一組DCC,在建筑已經確定的情況下,制程的分布要與回風道垂直。如果條件允許,好是將不同制程的區域隔開,這樣既可避免金屬粒子污染,又能提高溫濕度控制的穩定性。通常情況下, 潔凈室的溫濕度控制在22±2℃,45±5%RH,MAU 的送風溫度基本控制在21℃-21.5℃,在與循環風混合后,FFU
無塵凈化車間內的“5S”運作需確保性和持續性,并由現場管理人員執行區域化定位管理。無塵凈化車間的清掃、滅菌。無塵凈化車間的清掃一般須在生產工藝結束后進行;如有必要在生產前清掃,則工藝生產在凈化空調通風系統開機運行時間達到潔凈要求后方可開始進行。為交叉污染,清掃潔凈廠房設施均應按產品特點、工序要求、潔凈度等級不同分別。清掃工具一般采用集中固定式和便攜移動式真空清掃設備。如不具備上述條件,也可采用不掉纖維的材料如絲光毛巾、尼龍布進行擦拭,一般每天1次或數次。工作臺及工器具清掃一般每天一次;10~1000級廠房墻壁、地面清掃,一般每周一次,1萬~10萬級每月一次。凈化空調系統每年宜清洗1~2次,并委托專門清掃人員進行。
在半導體無塵車間的建造過程中,除了廠房的主體結構施工外,還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統及其管線的安裝、高純氣體系統(含特種氣體供應等)及其管線安裝、真空系統及其管線的安裝、化學品供應系統及其管線的安裝、各種排風和排氣系統及其處理設備的安裝、消防報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。還有氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣(98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。這些都是設計要注意的地方。