四平無塵車間裝修生產廠

　　四平無塵車間裝修生產廠

　　后進入潔凈室生產區域，從而基本達到無塵室的溫濕度、潔凈度及正壓度的要求。由于整個潔凈室內擺滿了各種生產機器，這些機器都保持持續的運轉，會產生大量的熱量，這些熱量又將通過回風通道內的干盤管DCC進行冷卻而被帶走， 從而達到維持長時間穩定的溫濕度環境。對于潔凈室的溫濕度控制，主要的兩塊是新風空調箱和干盤管。新風空調箱除了要外界大氣經過其中的初、中和過濾網，把空氣中的粉塵顆粒過濾掉外，還要根據潔凈室里面的溫濕度情況調整出風口的溫濕度，以送入的新風在規定的溫濕度范圍內。而干盤管是根據潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測量的值來調整干盤管冷水閥的開度，進而調節回風和送風混合后的溫濕度，以滿足半導體工藝的溫濕度需求。

　　百級無塵車間:百級無塵車間可用于間可用于制藥行業的無菌制造工藝。這一級別的無塵車間廣泛應用于植入物的制造，如手術，包括移植和集成器的制造。對細菌感染特別敏感的患者的隔離治 療，如骨髓移植患者的術后隔離治 療。

　　潔凈工作服應選產塵量少，又能抗靜電的衣料制作，一般1～10萬級潔凈室內用分裝型，100～1000級的用連體型。潔凈鞋套好使用一次性的，潔凈鞋要求是可洗滌式的。一般地，穿潔凈服的人在行走時，表面散發粒子數比穿普通衣服的人減小40—60倍，故此點對高潔凈度廠房的維護管理十分重要。潔凈工作服要有專人管理，定期檢查，清洗。無塵車間設計一般每周清洗一次，通常清洗50～100次后應檢查確定是否報廢。

　　在半導體無塵車間的建造過程中，除了廠房的主體結構施工外，還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統及其管線的安裝、高純氣體系統(含特種氣體供應等)及其管線安裝、真空系統及其管線的安裝、化學品供應系統及其管線的安裝、各種排風和排氣系統及其處理設備的安裝、消防報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。還有氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣(98%)，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。這些都是設計要注意的地方。