天水無塵車間裝修生產廠
發布時間:
2023-03-16 19:57
天水無塵車間裝修生產廠
潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
則單純靠加熱/冷卻過程是不能實現的。冷卻去濕過程是濕空氣經冷卻達到飽和后繼續制冷的過程,濕空氣經過冷卻盤管結露析出水滴從而降低了對濕度,起到去濕的作用。因而我們可以將空氣處理過程分為加熱、加濕、降溫及降溫去濕等四個過程。圖1中,橫坐標為含濕量,即每千克空氣所含有的水蒸量;縱坐標為攝氏溫度。根據目標狀態,對濕度線和目標溫度線可以劃分為四個控制區: Zone 1,ZoneZone 3,Zone 4。
在半導體無塵車間的建造過程中,除了廠房的主體結構施工外,還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統及其管線的安裝、高純氣體系統(含特種氣體供應等)及其管線安裝、真空系統及其管線的安裝、化學品供應系統及其管線的安裝、各種排風和排氣系統及其處理設備的安裝、消防報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。還有氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣(98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。這些都是設計要注意的地方。
另外,無塵車間zui怕的就是粒子泄漏。天花板中的濾網有很多種。例如層流式 C/R 而花板的組成組件包含了HEPA/ULPA? 濾網組燈光組亦有可能包含空白的嵌板,這類型的天花板優點為,放置方式并沒有嚴格的限制。無塵車間承建商,無塵車間工程,無塵車間建設,無塵車間潔凈度測試,無塵車間解決方案,百級無塵車間,千級無塵車間,萬級無塵車間,無塵車間標準,無塵車間施工,無塵車間設備,無塵車間設計、無塵車間施工、無塵車間維護,無塵車間亦稱凈化車間或無塵室潔凈室。